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Robotechnik Europe OPTIwet ST30 Wafer-Nassbehandlungsanlage

Hersteller
Robotechnik Europe
Modell
OPTIwet ST30
Typ
Wafer-Nassbehandlungsanlage
Baujahr
Unbekannt
Kategorie
Verfahrenstechnik u. Chemieanlagen
Unterkategorie
Sonstige Maschinen u. Anlagen
Preis: Auf Anfrage

Spezifikationen

Überblick

System for wet chemical processing of wafers up to 12in, substrates up to X/Y 9in/9in, stand-alone housing with process modules

Prozesskammer

Material
PP (Polypropylene)
Max wafer size
12 inch
Max substrate size X/Y
9in/9in
Programmable media arms
2

Rotationsspezifikationen

Rotational speed
1-4000 rpm
Acceleration ramp
1-3000 rpm
Spin time
1-999 seconds

Abluftanlage

Process bowl exhaust
2x DN110, approx. 200m³/h each
Chamber exhaust
2x DN110, approx. 200m³/h each
Housing exhaust
1x DN110, approx. 200m³/h
Control exhaust
1x DN110, approx. 200m³/h

Gasversorgung

CDA (Compressed dry air)
8 ± 2 bar
Vacuum
-0.8 ± 0.2 bar
Nitrogen
4.0 ± 0.5 bar

Abläufe und Abfallbehälter

Media drains
3
Waste box capacity
2 concentrate wastes

Zubehör

Reagent box
With pressure vessel
Thermostat baths
4 Julabo units

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KI-Beschreibung

Beta

Fähigkeiten

Das Robotechnik Europe OPTIwet ST30 ist ein eigenständiges Nasschemieverarbeitungssystem zur präzisen Reinigung, Ätzung und Beschichtung von Halbleiterwafer bis 12 Zoll und Substraten bis 9x9 Zoll. Es verfügt über zwei programmierbare Medienarme mit variabler Rotationsgeschwindigkeit (1-4000 rpm) und anpassbaren Spinnzyklen (1-999 Sekunden), die eine kontrollierte Chemieverarbeitung mit Abgasmanagement durch doppelte DN110-Prozesskammern ermöglichen. Das System umfasst eine Polypropylenprozessammer, integrierte Abfallwirtschaft für zwei Konzentratströme und einen druckbeaufschlagten Reagenzienkasten für automatisierte Chemikalienabgabe.

Branchen & Anwendungen

Diese Ausrüstung ist für Halbleiterhersteller, Forschungslabore, MEMS-Produzenten und Elektronikhersteller unverzichtbar, die zuverlässige Nassverar­beitungsfähigkeiten benötigen. Sie wird häufig zur Waferreinigung vor kritischen Herstellungsschritten, Photolack­entfernung, Metallätzen und Substratpräparation verwendet. Das stand-alone Design eignet sich für Reinraum- und Produktionsumgebungen, in denen Platzersparnis und Prozessisolation wichtig sind.

Worauf beim Kauf zu achten ist

Bei der Bewertung einer gebrauchten Anlage überprüfen Sie den Zustand der PP-Kammer auf Chemikalienkorrosion oder Risse, inspizieren Sie beide Medienarmbetätiger auf sanfte Bewegung und fordern Sie Wartungsunterlagen an, die die Kalibrierung von Drehzahlen und Druck-/Vakuumsystemen belegen. Überprüfen Sie, dass alle Abgas- und Ablaufverbindungen intakt sind und dass das Abfallmanagementsystem richtig gewartet wurde. Bestätigen Sie die ordnungsgemäße Funktion der programmierbaren Steuerungen und fragen Sie nach der Chemikalienkompatibilitätshistorie.

Diese Beschreibung wurde mit Hilfe von KI erstellt und dient ausschließlich als allgemeiner Leitfaden. Wie bei allen KI-generierten Inhalten können Ungenauigkeiten auftreten. Bitte überprüfen Sie alle Angaben direkt beim Verkäufer, bevor Sie eine Kaufentscheidung treffen.

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